제품소개
Dry Pump 제품소개 Dry Pump Light Process - Model ESA
-
Model ESA FOR H2 APP
Model ESA 중 ESA25-D, ESA70W-D, ESA80W-D, ESA100W-D는 Light Gas의 배기 속도가 매우 빠르기 때문에 H2, He 등의 공정 가스를 많이 사용하는 응용 분야에서 효과적입니다.
- Applied field
- 배터리 디스플레이
- Model
- ESA25-D ESA70W-D ESA80W-D ESA100W-D
-
Model ESA for large-volume atmospheric
ESA Model 중 ESA200W, ESA300W, ESA500W, ESA700W는 FPD 및 LCD 공정 시스템의 Load Lock 및 Transfer Chamber등 대용량 챔버의 고속 배기에 특화된 펌프입니다.
- Applied field
- 배터리 디스플레이
- Model
- Model ESA200W Model ESA300W Model ESA500W
상호 : (주)한국에바라정밀기계
대표이사 : 박신영
본사 및 공장 : 경기도 평택시 산단로 16번길 11 (모곡동 446-4)
판교 사무소 : 경기도 성남시 분당구 대왕판교로 660 유스페이스 1A동 405호
본사 및 공장 : 경기도 평택시 산단로 16번길 11 (모곡동 446-4)
판교 사무소 : 경기도 성남시 분당구 대왕판교로 660 유스페이스 1A동 405호
COPYRIGHT (C) 2019, Ebara Precision Machinery Korea INC. ALL RIGHT RESERVED.