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제품소개
Dry Pump
Middle Process – Model ESR
Middle Process – Model ESR

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Middle Process – Model ESR

Middle Process – Model ESR

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Model ESR는 경~중부하의 다양한 공정에 적합한 Dry Vacuum Pump입니다.

정밀 가공, 다단 Roots 효율, 개선된 DC 모터 채택 등으로 AC 모터 펌프에 대비하여 Utility 소비 (전력, Foot Print 등)를 대폭 감소시켰습니다. 또한 지능형 제어 장치를 사용함으로써 Idle Mode 설정이 가능하여 사용자의 수익성을 더욱 개선하였습니다.
Advantage
  • 경~중 부하 Process 대응　
  • 회전 수 제어 가능
    (1기종으로 폭넓은 배기속도 범위에 대응)
  • Utility 절약을 위한 Idle Mode 가능
  • 고성능 DC 모터
  • 저소음 및 저진동
Application
  • Sputtering
  • Metal etch
  • CVD
  • PVD
  • Ashing
  • SEM
  • lon implant
  • Load Lock and Transfer
  • Clean Gases and Processes
Specification
Model ESR20N ESR30N ESR80WN ESR100WN ESR200WN ESR300WN ESR500WN
Pumping speed (N2) [L/min] 2,000 3,000 8,500 10,000 20,000 30,000 46,000
Weight, approx. [kg] 105 190 200 250 390 500
Sizes (LxWxH) [mm] 695x280x370 760x400x488 720x380x705 704x380x705 825x460x880 975x460x880 *
Process Level
process level
  • ESR20N

    Model ESR20N

  • ESR80WN

    Model ESR80WN

  • ESR100WN

    Model ESR100WN

  • ESR200WN

    Model ESR200WN