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제품소개
Dry Pump
Model ESA FOR H2 APP
Model ESA FOR H2 APP

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Model ESA FOR H2 APP

Model ESA FOR H2 APP

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Model ESA 중 ESA25-D, ESA70W-D, ESA80W-D, ESA100W-D는 Light Gas의 배기 속도가 매우 빠르기 때문에 H2, He 등의 공정 가스를 많이 사용하는 응용 분야에서 효과적입니다.

MO-CVD 를 비롯한 Light Gas Process에서 하이테크 제어설계로 업계 선도적인 역할을 해왔습니다.
Advantage
  • H2 기반 프로세스의 최고 성능
  • Light Gas의 역류를 방지하는 3단
    Roots의 Booster Pump 채택 (ESA70W-D 이상)
  • 듀얼 전압 모터 - 재고 목록 비용 절감
Application
  • Metal Organic Chemical Vapor
    Deposition (MOCVD)
  • Molecular Beam Epitaxy (MBE)
  • Hydride Vapour Phase Epitaxy(HVPE).
  • LEDs for FPD backlighting
  • 고성능 레이져
  • 조명/신호등 제조
Specification
Model ESA25-D ESA70W-D ESA-80W-D ESA100W-D
Pumping speed (N2) [L/min] 2,500 (50 Hz)
3,000 (60 Hz)		 7,000 (50 Hz)
8,400 (60 Hz)		 8,400 10,000
Power at ultimate pressure [kW] 2.6 3.6 4.2 4.2
Weight, approx. [kg] 240 380 400 400
Dimension (W x L x H) [mm] 1074 x 394 x 520 985 x 400 x 770 985 x 400 x 800 985 x 400 x 840
Process Level
process level
  • ESA25-D

    Model ESA25-D

  • ESA70W-D

    Model ESA70W-D

  • ESA80W-D

    Model ESA80W-D

  • ESA100W-D

    Model ESA100W-D