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제품소개
Dry Pump
Harsh Process - Model EST
Harsh Process - Model EST

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Harsh Process - Model EST

Harsh Process - Model EST

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Model EST는 고유한 온도 제어 및 2,000 [L/ min] ~ 최대 80,000 [L/ min] Pumping속도를 처리하는 가변형 토크 작동을 특징으로 하는 Harsh 공정 적용을 위해 설계되었습니다.

EST Model은 Light & Harsh 작업을 처리 할 수 ​​있습니다. 또한 적은 전력을 소비하도록 설계되었습니다. Roots Type의 Rotor와 고성능 모터 및 인버터의 결합으로 에너지 효율성이 뛰어나고 Harsh 공정 응용 분야에 이상적입니다.
Advantage
  • 제품 처리량 향상
  • 소유 비용 절감
  • 설치 공간 줄이기
  • 가혹한 프로세스 기능
  • 누수 감지기(옵션)
  • SEMI, NRTL / CE
  • RPM 변화에 따른 조절 가능한 Pumping 속도
  • 추가 에너지 절감을 위한 Idle Mode
Application
  • CVD Process
  • Etching Process
  • High Pumping Speed /
    High Gas Load Requirement
Specification
Model EST10N EST25N EST100WN EST200WN EST300WN EST500WN EST801WN EST1201WN
 Pumping speed (N2) [L/min] 1,000 2,500 10,000 20,000 30,000 50,000 80,000 100,000
Power at ultimate pressure [kW] 2.3 3.0 3.2 3.2 4.5 4.6 4.6 5.2
 Weight, approx. [kg] 260 300 380 430 500 550 850 950
Sizes (LxWxH) [mm] 1100x410x532 1140x410x531 1140x410x946 1140x520x948 1140x630x1105 1240x630x1044
Process Level
process level
  • EST25N

    Model EST25N

  • EST100WN

    Model EST100WN

  • EST200WN

    Model EST200WN

  • EST300WN

    Model EST300WN

  • EST500WN

    Model EST500WN

  • EST800WN

    Model EST800WN