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제품소개

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제품소개
Dry Pump
Light Process - Model EV-S
Light Process - Model EV-S

Dry Pump 제품소개 Dry Pump Light Process - Model EV-S

Light Process - Model EV-S

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Model EV-S는 Pump Size의 축소화 및 에너지 효율 향상을 목표로 개발된 펌프입니다.

모터의 효율을 높이고 압축비를 재 설계하였습니다.
이로 인해 에너지 소비를 크게 감소시킬 수 있었고, 따라서 운영 비용 절감과 고객의 수익성을 개선하였습니다.
Advantage
  • 소형화, 경량화
    (당사 ESR Model 대비 Footprint 40% 이상 절감)
  • 소비전력 절감
    (당사 ESR Model 대비 Running Cost 30% 이상 절감)
  • 우수한 내식 재료 채택(Ni-Resist)
  • 회전속도 제어 가능
Application
  • SEM
  • Load Lock
  • Metal PDV
  • Dielectric ETCH
  • Ion Implant
  • Ashing
Specification
Model EV-S20 EV-S30 EV-S50 EV-S100 EV-S200
 Pumping speed (N2) [L/min] 1,670 3,300 5,000 10,000 20,000
Power at ultimate pressure [kW] 0.4 0.4 0.55 0.65 0.75
Weight, approx. [kg] 60 90 100 120 170
Sizes (LxWxH) [mm] 450x230x322 630x250x310 450x230x537 510x260x537 650x275x597
Process Level
process level
  • EV-PA50

    Model EV-S20

  • EV-PA250

    Model EV-S50

  • EV-PA500

    Model EV-S100

  • EV-PA500

    Model EV-S200