■ SYSTEMS - 평탄화 프로세스 - 도금 (PLATING) ■ COMPONENTS - 드라이 진공펌프 - 토탈 진공시스템 - 오존관련 시스템 ■ OTHERS - 배기가스 처리장비 - 광역형 터보펌프 - 고배압형 터보펌프